Vakuummåling er en viktig komponent i vakuumteknologi. Instrumentet som brukes til å måle vakuumgrad kalles en vakuummåler.
De ofte brukte vakuummålerne for vakuumovner og vakuumsmelteovner inkluderer termoelementvakuummålere, ioniseringsvakuummålere osv. Arbeidsprinsippet deres er som følger:
(1) Termoelement vakuummåler
Termoelementvakuummåleren består av sensitive komponenter, termoelementmålere og måleinstrumenter. Termoelementmålerøret er koblet til det testede vakuumsystemet, med et ytre skall av glassrør og varmeledninger og termoelementledninger inne i røret. På grunn av temperaturforskjellen mellom den kalde og varme enden av termoelementtråden, genereres termoelektrisk potensial i kretsen. Hvis spenningen til varmetråden forblir konstant, begrenses potensialet til termoelementtråden av temperaturen på varmetråden, og temperaturen til varmetråden er relatert til trykket til den målte gassen. Lavt trykk, lav termisk ledningsevne for gass, mindre varme som føres bort av gassen, høyere varmetrådstemperatur og økt termoelektrisk potensial til termoelementtråden; Tvert imot avtar det termoelektriske potensialet. Det termoelektriske potensialet i kretsen måles ved hjelp av en millivoltmåler, og millivoltene i måleren reflekterer nivået av vakuum. For å sikre spenningsstabiliteten til varmeledningen ble det koblet til en stabil strømforsyning. Så måleinstrumentet består av en millivoltmåler for måling av termoelektrisk potensial og en regulert varmetrådstabilisert strømforsyning.
(2) Ioniseringsvakuummåler
Denne typen vakuummåler brukes hovedsakelig til å måle høye vakuumnivåer. I lavtrykks- og sterke gasser er antallet positive ioner generert ved ionisering av gassmolekyler direkte proporsjonalt med gasstrykket. I henhold til forskjellige metoder for ionisering, kalles en vakuummåler som bruker en varm katode til å avgi elektroner for å ionisere gassen en varmkatodeioniseringsvakuummåler; Blant dem består den varme katodeioniseringsvakuummåleren av en varmkatodemåler og måleinstrumenter. Måleinstrumentet består av en regulert arbeidsstrømforsyning, en emisjonsstrømstabilisator, en ionestrømmåleforsterker og andre komponenter. Den varme katodeioniseringsmåleren er koblet til det testede vakuumsystemet. En varm katode ioniseringsmåler er en transistor med en katode, port og kollektor inni. Samle det polare potensialet i forhold til det katodiske elektronegative potensialet; Porten har et positivt potensial i forhold til katoden. Når ioniseringsmåleren er elektrifisert og oppvarmet, avgir katoden elektroner, som kolliderer med gassmolekyler under prosessen med å nå porten, noe som resulterer i ionisering av positive ioner og elektroner. Når utslippsstrømmen er konstant, er antall positive ioner per dag direkte proporsjonal med trykket til den målte gassen. Etter at de positive ionene er samlet opp av samleelektroden og forsterket av målekretsen, kan vakuumgraden som skal måles (boksovn) avleses av den indikerende elektriske måleren.
(3) Kompositt vakuummåler
Vanligvis kan en enkelt vakuummåler ikke brukes til å måle lavt og høyt vakuum, men en komposittvakuummåler bør brukes, med ionisering og termoelementkomposittvakuummålere som er mer vanlig å bruke. Måleområdet er 13.33-666.6 × 10-8Pa. Måling av lavt vakuum ved (10-10-10-3) x 133,32 Pa ved bruk av en termoelementvakuummåler; Ioniseringsvakuummåler måler et høyvakuum på 133,32 × 10-3-666.6 × 10-8Pa. Komposittvakuummåleren er utstyrt med en termoelementmåler og en ioniseringsmåler, som er henholdsvis koblet til vakuumsystemet. De to målerne kan varmes opp separat med en knott og kan velges for bruk.